不过,无论是对哪一种新制程技术,基于3D结构的穿硅互联技术(TSV:through-silicon vias)无疑是最好用的“万精油”型通配技术,假如哪一家厂商可以在合理控制成本的基础上量产基于TSV技术的产品,那么他们无疑将占据非常有利的地位。
目前,芯片大厂仍然在32/28nm节点使用传统的体硅/SOI这样的平面型晶体管技术。不过用VLSI公司的CEO G. Dan Hutcheson的话来讲:显然“人们依然对20nm节点要采用什么样的晶体管制程技术而感到头疼。对晶体管的结构方面,最保守的判断是我们在32/28nm的下一代节点将继续使用传统的CMOS结构.”
Semico公司的分析师Joanne Itow对这种观点表示同意,他还认为能证明这种观点成立的最主要论据是由于在22/20nm节点采用新的晶体管结构,会导致成本和风险的极大提升。
至于22/20nm节点之后,各大厂商还能将现有的体硅结构沿用多久,则仍然是个没有答案的难题。22/20nm节点之后,各大芯片厂商对计划于2013年出现的16nm节点制程应使用哪种新的晶体管结构的意见并不一致.目前这个问题的答案可以有很多,比如III-V族沟道材料晶体管,体硅,Finfet立体晶体管,多栅立体晶体管,全耗尽型SOI等等。而16nm节点之后,可选的范围则更进一步扩大到了III-V族沟道材料晶体管,碳纳米管结构,石墨晶体管,量子阱场效应管等等。